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Humboldt-Universität zu Berlin - Faculty of Mathematics and Natural Sciences - Strukturforschung / Elektronenmikroskopie

Versuch im F-Praktikum

Ortsaufgelöste Elementanalyse und Abbildung im Rasterelektronenmikroskop

In diesem Versuch soll anhand von auf einem Siliziumsubstrat gewachsenen Germaniuminseln, die Abbildung und Elementanalyse im Rasterelektronenmikroskop untersucht werden. Dabei werden folgende Detektoren verwendet:

  • Sekundärelektronendetektor (SE2)
  • Energiedispersiver Röntgendetektor (EDX)

Die folgenden Prinzipien sollen bei diesem Versuch und praktisch angewendet werden:

  • Arbeitsprinzip eines Rasterelektronenmikroskops (REM)
  • Wirkungsprinzip elektronenoptischer Linsen
  • Streuprozesse und Detektoren im Rasterelektronenmikroskop
  • Energiedispersive Röntgenspektroskopie

 

Information zur Durchführung des Praktikumsversuchs:

 

Für nähere Details bitte eine Email an wouter.van.den.broek@physik.hu-berlin.de